- 適用于在 10-2 至 10-4 mbar（0.75 x 10-2 至 0.75 x 10-4 Torr）壓力范圍內(nèi)需要高抽速的應用
- 在必須避免因空氣進入或抽取的介質(zhì)泄漏而可能造成污染的情況下使用
- 吸入或抽取高純度氣體
- 在不得由電機風扇循環(huán)通風的潔凈室中使用
RUVAC 羅茨泵是low-e鍍膜行業(yè)中的標配設備。當與現(xiàn)有的油封 SOGEVAC 泵結合使用時，它們可在進出樣室中實現(xiàn)較短的抽氣時間。當與干式壓縮 DRYVAC 和 SCREWLINE 泵結合使用時，它們可確保在工藝室中實現(xiàn)干燥、可靠和無故障的真空。
RUVAC 羅茨泵應用廣泛，可在特別需要快速抽空的應用中實現(xiàn)盡可能短的周期時間，例如在進出樣室或高速食品包裝中。
RUVAC 羅茨泵在鍍膜工藝流程前可快速達到低于 10-3 mbar 的壓力，抽空燈具和絕緣表面，滿足工藝要求。
RUVAC 羅茨泵還在長晶設備中用于制造單晶硅，單晶硅是制造半導體和太陽能電池的基本材料。我們很樂意為您提供我們廣泛的產(chǎn)品以及應用支持和專業(yè)技術。
