真空系統設備有很多種,但無論哪種真空應用設備都有一套排氣系統來排除真空容器中的氣體,以便在真空容器中獲得必要的真空條件。例如,用于真空處理的容器通過管道和閥門連接到真空泵。當真空泵抽空容器時,容器上有真空測量裝置。這構成了最簡單的真空泵系統。
最簡單的真空系統只能在泵送容器內的低真空范圍內獲得真空。當需要高真空范圍的真空時,高真空泵通常與圖1所示的真空系統串聯。當高真空泵串聯連接時,通常在閥門的入口和出口處添加閥門。高真空泵,以保持真空。如果串聯的高真空泵是油擴散泵,為了防止大量的油蒸氣流回泵送容器,通常在油擴散泵的入口處添加一個疏水閥,水冷擋板(見圖2)。根據要求,可在管道中加入除塵器,真空繼電器頭,真空軟連接管道,真空泵進口排氣閥等,形成更完美的高真空系統。
由兩個或多個串聯真空泵組成的真空系統通常稱為低真空泵,作為高真空泵的前級泵(或前級泵),而最高真空泵稱為主泵。真空系統,也就是說,它是最重要的泵,泵送容器中的極限真空和工作真空是主要的。泵確定。泵送容器出口和主泵入口之間的管道稱為高真空管道,主泵入口處的閥門稱為主閥。
通常,前泵也用作真空泵。泵送容器和預泵泵之間的管道稱為預真空管道,管道上的閥門稱為預真空管道閥門。主泵出口和前級泵入口之間的管道稱為前級管道。管道上的閥門稱為前級管道閥門,軟連接管道設置為隔離前級泵的振動。
總而言之,更完整的真空系統包括以下組件:
1.抽水設備:例如,各種真空泵;
真空閥;
連接管道;
4.真空測量裝置,如真空計和各種調節器。
5.其他部件,如疏水閥,除塵器,真空接力頭,儲罐等。
什么是真空系統?總結一句話,它是一個用于獲得一定程度真空的泵送系統。
真空系統設計的基本內容是:根據抽水容器的真空要求,選擇合適的真空系統設計方案,選擇并計算泵;確定導管,閥門,疏水閥,真空測量元件,進行合理的配置,最后繪制真空系統組件圖和部件。
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